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近日从国家奖励办获悉，西安交通大学蒋庄德教授主持的科研项目“耐高温压力传感器设计制造关键技术及系列产品开发”已被评为2006年度国家技术发明二等奖。
该项目针对一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高过载、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力测量难题，为打破国外在耐高温压力传感器方面的技术封锁和产品垄断，进行了10余年系统研究，发明了耐高温传感器的核心元件——耐高温固态压阻力敏芯片，解决了多层膜热应力对传感器性能的影响，提高了传感器的高温可靠性，突破了传感器在高温(120℃～250℃)下的压力测量瓶颈；发明了敏感元件和弹性元件的无应力"固-固"封装工艺，解决了传感器在高温、振动等恶劣环境下敏感元件易松动的技术难题；发明了多种抗瞬时超高温冲击等特点的耐高温压力传感器结构，解决了瞬时超高温(≥2000℃)，以及火炮、导弹发射及炸药柱起爆等条件下的高温动态超高压力测量难题。利用以上研究成果，开发了用于航天航空、石油化工、军工、能源电力等领域的系列耐高温压力传感器，并实现批量生产，获国家重点新产品1项，该产品具有抗瞬时超高温、高过载、超高量程等特点，总精度优于0.5%FS。鉴定结论为：该成果的性能指标和总体水平达到国际先进水平，在敏感元件集成设计和传感器结构设计等方面达到国际领先水平。（黄上恒
唐一平）
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